HFSS同軸諧振腔磁耦合環(huán)優(yōu)化設(shè)計
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基于同軸諧振腔密度測量原理建立了應(yīng)用于密度測量的同軸諧振腔傳感器模型。采用HFSS仿真軟件對具有不同磁耦合環(huán)結(jié)構(gòu)尺寸的同軸諧振腔進行仿真,通過比較磁耦合環(huán)S21曲線得出的優(yōu)化參數(shù)為,耦合環(huán)起始點到腔體軸心距離L=24mm,耦合環(huán)半徑R=2 mm,耦合環(huán)角度theta=260°,同軸諧振腔在該參數(shù)下具有較優(yōu)越的電磁特性,且分辨力較強.同時,以粉末硅為該同軸諧振腔的加載物料,采用得出的優(yōu)化同軸諧振腔模型進行HFSS仿真.仿真結(jié)果表明,加載物料之后,同軸諧振腔S21曲線的諧振特性明顯改變,其諧振頻率變化顯著,而且,其變化幅度可以在HFSS得出的S21仿真曲線上得出,通過檢測這種變化就可以利用經(jīng)驗公式推求出加載物料的密度.
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