PN結(jié)仿真實(shí)例:半導(dǎo)體漂移擴(kuò)散Drift-Diffusion
我們知道,導(dǎo)電的是載流子,包括空洞和電子。PN結(jié)中的P和N都是半導(dǎo)體材料,比如硅或鍺,區(qū)別是用了不同的原子摻雜(doping)。若不摻雜,半導(dǎo)體硅本身的空洞或電子濃度就叫本征載流子濃度(intrinsiccarrier concentration),用Ni表示,與溫度強(qiáng)相關(guān);比如300開爾文的硅Ni約為10e9cm^-3,空洞和電子都是這個(gè)濃度,因?yàn)闆]有摻雜。摻雜多空洞載流子,硅便成了P類硅(P-type),摻雜多電子載流子,硅便成了N類硅(N-type)。P-type是受體acceptor,N-type是施體donor,所以N-type會貢獻(xiàn)多余的電子給P-type,直到電勢平衡,不再有載流子流動,這個(gè)過程就叫做擴(kuò)散(diffusion)。當(dāng)半導(dǎo)體中的載流子分布處于不平衡時(shí),漂移擴(kuò)散就會發(fā)生。比如半導(dǎo)體兩端有電勢差,或者半導(dǎo)體一部分有光照產(chǎn)生了多余載流子,都是載流子分布不平衡;
本案例中,P-type的摻雜密度為 NA=1e16 cm^-3, N-type的摻雜密度為ND=1e18cm^-3, 硅Ni=1e10cm^-3,有了這些輸入值,加上室溫?zé)犭妷撼?shù)Vth=0.026mV,我們就可以手動計(jì)算出PN結(jié)中的內(nèi)置電位(builtin potential):
漂移擴(kuò)散求解器簡稱DD-solver,是低頻工作室中求解器之一:
模型很簡單,兩個(gè)方塊,都是硅材料,長度為0.4um和0.1um,XY方向較小,模擬一維結(jié)構(gòu)。
特別的是,針對DD求解器,硅材料的設(shè)置中多了半導(dǎo)體相關(guān)的參數(shù):
所以DD求解器需要材料中多明確本征載流子密度、載流子遷移率和載流子有效質(zhì)量,這三大半導(dǎo)體材料參數(shù)。
其中,本征載流子密度容易理解,就是硅的特性;載流子遷移率乘以電場能獲得漂移速度;
載流子有效質(zhì)量是相對于自由電子的質(zhì)量,一般都在范圍0.01-10;可能有人問了,怎么空穴和電子的質(zhì)量還能比電子小呢?這個(gè)就是固體物理的范疇了,需要具體的能級曲線分析,這里就不詳細(xì)說了。
總之這些設(shè)置的值在很多文獻(xiàn)或課本中都能找到。
具體的半導(dǎo)體摻雜則需要在Doping Density處設(shè)置:
P-type正摻雜:
N-type負(fù)摻雜:
兩邊用PEC添加固定電勢,N-type一邊是0電勢的地,P-type一邊是參數(shù)化的電壓偏置,所以Voltage為正就是正向偏置,PN結(jié)導(dǎo)通;Voltage為負(fù)就是逆向偏置,PN結(jié)不通:
本地網(wǎng)格加密,N-type更密一些,因?yàn)樗膿诫s是P-type的100倍,德拜長度就是P-type的1/10;德拜長度計(jì)算:
LD(donor)= sqrt(11.9*8.854e-12*1.3806e-23*300/1.6^2e-38/1e18/1e6) =4nm
LD(acceptor) = 40nm
所以大概一個(gè)德拜長度一個(gè)網(wǎng)格:
邊界條件:
我們先用Voltage=0,也就是無外界偏置電壓仿真,此時(shí)內(nèi)置電壓等于勢壘電壓。
仿真結(jié)束后,很多結(jié)果自動得到:
比如我們先查看載流子密度,兩端最大值就是我們之前設(shè)置的摻雜密度;中間有耗盡區(qū)生成,所以P-type這邊明顯耗盡層較大,因?yàn)楸景咐齈摻雜較少,這也是為什么我們畫P長過N。實(shí)際中二極管往往P-type要短一些,和摻雜濃度有關(guān)。
若看參雜密度,則是設(shè)置的定值:
電場分布:
電勢分布:
等離子頻率:
我們用后處理提取中軸線上的電場、電勢、電子密度、空穴密度:
這里從這些曲線其實(shí)就能看出耗盡層的大概厚度了。還有三個(gè)后處理,其中兩個(gè)是提取電勢的最大值和最小值計(jì)算壁壘電勢差;第三個(gè)是個(gè)mix template,用電勢差加上外接電壓voltage得到內(nèi)置電位(built in potential)。
和我們之前手動計(jì)算的一致:
下面我們看看正向偏置電壓,voltage=0.4V,重新仿真,對比電場和電勢,符合理論預(yù)期:
我們加個(gè)標(biāo)尺大概量一下耗盡層約長0.25um:
可用公式驗(yàn)證一下:
Width=sqrt(2*11.9*8.854e-12*(1e22+1e24)/1.602/1e^-19/1e22/1e24*0.43) =0.24um
有了偏置電壓,空穴和電子的準(zhǔn)費(fèi)米能級也不同了:
最后,我們掃參voltage,在0點(diǎn)附近多一些采樣:
看內(nèi)置電壓,一直都是恒定0.83V,直到外界電壓超過內(nèi)置電壓,大到把耗盡區(qū)完全壓縮,PN結(jié)成了電壓源。
查看I-V曲線,注意這里沒有正負(fù)之分,方向可查看場圖:
正向偏置的電流:
反向偏置的電流:
小結(jié):
1. DD求解器是漂移擴(kuò)散求解器,第一個(gè)D是drift漂移,計(jì)算施加電場下載流子定向運(yùn)動;第二個(gè)D是diffusion擴(kuò)散,計(jì)算載流子濃度變化效果。
2. CST可以用來分析半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電特性,比如設(shè)計(jì)二極管。